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J-GLOBAL ID:201204045505816216  Research Project code:3774 Update date:Oct. 07, 2013

浮遊型プローブによるプロセスプラズマ分析装置の開発

Study period:2010 - 継続中
Organization (2):
Investigating Researcher (2):
Research overview:
本課題では、集積回路(LSI)プロセスの中心技術である半導体製造プラズマ装置、ロケットスラスタープラズマさらには生物生体プロセスプラズマなど広範な応用プラズマの分析技術として、電子放出可能な浮遊型プローブ法を提案し、その原理特許を取得済みの技術をもとに、プラズマ電子エネルギー分析、電子・イオン密度解析、プラズマポテンシャル分布などの総合的分析を可能とするプラズマ分析装置プロトタイプの開発を目指します。
Research program: 先端計測分析技術・機器開発プログラム
Ministry with control over the research :
文部科学省
Organization with control over the research:
独立行政法人科学技術振興機構
Parent Research Project (1):

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