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J-GLOBAL ID:201204049499415188  Research Project code:7578 Update date:Oct. 07, 2013

PBII法を用いたNIL用高硬度・高剥離性を有するF-DLCモールドの開発

Study period:2007 - 継続中
Organization (1):
Investigating Researcher (1):
Research overview:
ナノインプリントリソグラフィー(NIL)は、数十nmスケールのパターンを容易・低コストで形成できるために、LCD部材・燃料電池などの様々な先端産業分野で注目を集めている。本課題はこれまでNILの量産化にネックとなっていた耐摩耗性と高剥離性を満足するモールド離型材の決定版として、Plasma-Based Ion Implantation(PBII)法により、フッ素を含有したダイヤモンドライクカーボン(F-DLC)を用いるモールドの開発を行う。
Research program: シーズ発掘試験
Ministry with control over the research :
文部科学省
Organization with control over the research:
独立行政法人科学技術振興機構
Parent Research Project (1):

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