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J-GLOBAL ID:201204059558738900  Research Project code:8543 Update date:Oct. 07, 2013

プラズマ気相成長法による微結晶シリコン初期成長制御に関する研究

Study period:2009 - 継続中
Organization (1):
Investigating Researcher (1):
Research overview:
本研究は、気相成長法による微結晶シリコン薄膜の初期成長(インキュベーション)制御を行い、高効率太陽電池や高性能薄膜トランジスタに使用可能、かつ大面積基板への展開が容易な高品質微結晶シリコン薄膜形成手法を開発するものである。
Research program: シーズ発掘試験
Ministry with control over the research :
文部科学省
Organization with control over the research:
独立行政法人科学技術振興機構
Parent Research Project (1):

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