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J-GLOBAL ID:201204060594067077  Research Project code:5694 Update date:Oct. 07, 2013

シリコーンオイルとオゾンガスを用いた酸化シリコン膜の低温形成

Study period:2005 - 継続中
Organization (1):
Investigating Researcher (1):
Research program: シーズ発掘試験
Ministry with control over the research :
文部科学省
Organization with control over the research:
独立行政法人科学技術振興機構
Parent Research Project (1):

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