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J-GLOBAL ID:201204060665941709  Research Project code:6041 Update date:Oct. 07, 2013

大気圧プラズマを用いた低温高速加工処理システムの開発

Study period:2009 - 継続中
Organization (1):
Investigating Researcher (1):
Research overview:
低温高速加工処理は、研削や研磨といった機械加工と異なる、半導体製造プロセスでの基板材料の加工に代表される非接触かつ低温での加工処理技術として需要があるものである。本加工処理は、従来の低圧プラズマに比べ、大気圧プラズマによるプロセスが非等方性の点では劣るものの高速化は容易にできる。そこで、本研究では、大気圧プラズマ中で生成された活性粒子をプラズマリアクタ下流部に設置した材料に照射することで、より低温で高速に加工処理できるシステムの開発をする。
Research program: シーズ発掘試験
Ministry with control over the research :
文部科学省
Organization with control over the research:
独立行政法人科学技術振興機構
Parent Research Project (1):

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