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J-GLOBAL ID:201204061067638682  Research Project code:6653 Update date:Oct. 07, 2013

プラズマ配向カーボンナノチューブ大面積成長装置の開発

Study period:2009 - 継続中
Organization (1):
Investigating Researcher (1):
Research overview:
本研究ではプラズマと基板の間に形成される強いシース電界を利用して、CVD(化学気相堆積)法によりカーボンナノチューブ(CNT)を自立させながら、大面積基板上に垂直に配向成長させる技術・装置を開発する。これまで、大面積化が可能な“RF支援DCプラズマCVD法”を開発し、予備実験において7cm角の基板上全面に自立配向したCNTを成長させることができている。本研究では、先鋭なCNTからの電界電子放出を利用したディスプレイ、キャパシタ、X線発生装置などへの応用を目指して、20cm角基板上全面へ自立配向CNT成長が可能な装置を開発し、実用性を実証する。
Research program: シーズ発掘試験
Ministry with control over the research :
文部科学省
Organization with control over the research:
独立行政法人科学技術振興機構
Parent Research Project (1):

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