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J-GLOBAL ID:201204078993001442  Research Project code:6899 Update date:Oct. 07, 2013

薄膜表皮効果を利用した複合ナノ銅配線形成技術の開発

Study period:2006 - 継続中
Organization (1):
Investigating Researcher (1):
Research program: シーズ発掘試験
Ministry with control over the research :
文部科学省
Organization with control over the research:
独立行政法人科学技術振興機構
Parent Research Project (1):

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