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J-GLOBAL ID:201204082270596038  Research Project code:9277 Update date:Oct. 07, 2013

ZnO系薄膜を用いた高感度紫外線パネル検出器の開発

Study period:2008 - 継続中
Organization (1):
Investigating Researcher (1):
Research overview:
本研究では、紫外線照射で電気抵抗が大きく低下する窒素(N)ドープZnO薄膜を用いて、マトリックス状の受光部を持つ光導電型紫外線パネル検出器の可能性を追求する。縦横の配線には、低抵抗のZnO系透明導電膜を使用する。受光部は、紫外線応答する高抵抗薄膜を縦横の配線の交差部に介在させた積層構造となっている。本実験では、積層膜形成による問題点及びマトリックス検出器の計測上の問題点を明確にし、ZnO系検出器の開発を図る。
Research program: シーズ発掘試験
Ministry with control over the research :
文部科学省
Organization with control over the research:
独立行政法人科学技術振興機構
Parent Research Project (1):

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