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J-GLOBAL ID:201204082478205903  Research Project code:9408 Update date:Oct. 07, 2013

炭素系硬質薄膜の窒素ガス潤滑による超低摩擦しゅう動要素の開発と応用

Study period:2005 - 継続中
Organization (1):
Investigating Researcher (1):
Research overview:
精密位置決めシステムやハードディスク用高速,精密スピンドルに代表される超精密機器のしゅう動部では,その精度の限界故に,従来使用されている転がり要素を用いることは困難であり剛性の高いすべり要素の導入が進んでいる.しかし,転がり要素と比較し摩擦が高いすべり要素の場合,その潤滑法が機器の精度と信頼性を支配することになる.精密機器においては,従来の油や固体の潤滑剤は,汚染源となるとともにシステムの精度劣化の主因となるため使用することは困難であり,すべり要素のしゅう動部は動圧により非接触状態を実現できる高速回転,高
Research program: シーズ発掘試験
Ministry with control over the research :
文部科学省
Organization with control over the research:
独立行政法人科学技術振興機構
Parent Research Project (1):

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