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J-GLOBAL ID:201204087702609170  Research Project code:4426 Update date:Oct. 07, 2013

ロータリエンコーダの高精度校正システム

Study period:1996 - 1999
Organization (1):
Investigating Researcher (1):
Research overview:
小型で高剛性を目的とした横型構造の超精密鏡面研削盤を開発しました。1ナノメートル分解能での研削切り込み制御と高精度制圧空気スピンドル搭載により、シリコンウエハ(6インチ)表面を超精密研削することが可能となりました。平成11年度独創的研究成果育成事業において「ニュータイプの横型超精密平面研削盤モデルの試作」が採択となりました。
Research program: 地域研究開発促進拠点支援(RSP)事業
Ministry with control over the research :
文部科学省
Organization with control over the research:
独立行政法人科学技術振興機構
Parent Research Project (1):

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