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J-GLOBAL ID：201302200700893115   Reference number：13A0595764

Monitoring of sterilization in an oxygen plasma apparatus, employing a quartz crystal microbalance (QCM) method

水晶微量天秤(QCM)法を使用した酸素プラズマ装置内での殺菌のモニタリング

Author (6)： YOSHINO Kiyoshi (Res. and Dev. Div., Iwasaki Electric Co., Ltd., 1-1 Ichiriyma-chyo, Gyoda City, Saitama 361-8505, JPN) ,  MATSUMOTO Hiroyuki (Res. and Dev. Div., Iwasaki Electric Co., Ltd., 1-1 Ichiriyma-chyo, Gyoda City, Saitama 361-8505, JPN) ,  IWASAKI Tatsuyuki (Res. and Dev. Div., Iwasaki Electric Co., Ltd., 1-1 Ichiriyma-chyo, Gyoda City, Saitama 361-8505, JPN) ,  KINOSHITA Shinobu (Res. and Dev. Div., Iwasaki Electric Co., Ltd., 1-1 Ichiriyma-chyo, Gyoda City, Saitama 361-8505, JPN) ,  NODA Kazutoshi (Res. Inst. for Environmental Management Technol., National Inst. of Advanced Sci. and Technol. (AIST), 16-1 Onogawa ...) ,  IWAMORI Satoru (Fac. of Engineering, Tokai Univ., 4-1-1 Kitakaname, Hirastuka City, Kanagawa 259-1292, JPN)
Material： Vacuum
Volume： 93  Page： 84-89  Publication year： Jul. 2013 
JST Material Number： E0347A  ISSN： 0042-207X  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *microorganism ,  Bacillus subtilis ,  *sterilization(disinfection) ,  monitoring ,  *microbalance ,  *inactivation ,  electron microscopy ,  Aspergillus ,  *plasma exposure
Semi thesaurus term： Microscopy, Electron, Scanning ,  spectral analysis ,  fluorocarbon ,  monitoring ,  *quartz crystal microbalance ,  Aspergillus ,  *oxygen plasma

JST classification (2)： Sterilization methods  (EG02040C) ,  Applications of plasma  (BJ02110K)

Terms in the title (6)： 水晶微量天秤 ,  QCM ,  法 ,  酸素プラズマ ,  殺菌 ,  モニタリング