Art

J-GLOBAL ID：201302206657338232   Reference number：13A0026867

Thin-film piezoelectric MEMS

薄膜圧電MEMS

Author (2)： EOM Chang-Beom (Univ. Wisconsin-Madison) ,  TROLIER-MCKINSTRY Susan (Pennsylvania State Univ.)
Material： MRS Bulletin  (MRS Bull)
Volume： 37  Issue： 11  Page： 1007-1017  Publication year： Nov. 2012 
JST Material Number： W1595A  ISSN： 0883-7694  CODEN： MRSBEA  Document type： Article
Article type： 文献レビュー  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *MEMS ,  thin film ,  *thin film growth ,  energy supply ,  filter ,  robot ,  *microrobot ,  walking robot ,  *CMOS structure ,  lead zirconate titanate ,  aluminum nitride ,  piezoelectricity ,  epitaxy ,  *adaptive optics ,  NEMS ,  *energy harvesting ,  multi-leg robot ,  *MOS structure
Semi thesaurus term： *MEMS resonator ,  PZT ,  Micro-opto-electro-mechanical System ,  *piezoelectric thin film ,  MOEMS ,  multi-leg type robot

JST classification (3)： Piezoelectricity,pyroelectricity,electret  (BM05040M) ,  Design,manufacturing,and components of robots  (IC04013A) ,  Optical devices in general  (BD06010L)

Terms in the title (3)： 薄膜 ,  圧電 ,  MEMS