Art

J-GLOBAL ID：201302210213588965   Reference number：13A0393465

Ultra light-weight and high-resolution X-ray mirrors using DRIE and X-ray LIGA techniques for space X-ray telescopes

Author (16)： RIVEROS RE ,  YAMAGUCHI H ,  FUJIHIRA S ,  KANAMORI Y ,  MORISHITA K ,  NAKAJIMA K ,  MAEDA R ,  SUGIYAMA S ,  KATO F ,  EZOE Y ,  MITSUISHI I ,  TAKAGI U ,  KOSHIISHI M ,  MITSUDA K ,  YAMASAKI NY ,  OHASHI T
Material： MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS
Volume： 16  Issue： 8-9  Page： 1633-1641  Publication year： 2010 
JST Material Number： O3892A  ISSN： 0946-7076  Document type： Article
Country of issue： Other (ZZZ)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (3)： DRIE ,  LIGA ,  SPACE