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J-GLOBAL ID：201302214516498190   Reference number：13A0427156

MD study on temperature dependence of sputtering yield

スパッタ収率の温度依存性に関するMD研究
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  • Access JDreamⅢ for advanced search and analysis.
Author (1)：
MURAMOTO T

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Material：
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS

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Volume： 267  Issue： 18  Page： 3232-3234  Publication year： 2009 
JST Material Number： O4401A  ISSN： 0168-583X  Document type： Article
Country of issue： Other (ZZZ)  Language： ENGLISH (EN)
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