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J-GLOBAL ID：201302230451656082   Reference number：13A1413161

シリコンウェーハの原子空孔軌道の巨大な四極子-歪み相互作用

Author (12)： GOTO TERUTAKA (新潟大 大学院) ,  MITSUMOTO KEISUKE (新潟大 大学院) ,  AKATSU MITSUHIRO (新潟大 大学院) ,  BABA SHOTARO (新潟大 大学院) ,  TAKASU RIE (新潟大 大学院) ,  OKABE KAZUKI (新潟大 大学院) ,  OKABE KAZUKI (グローバルウェーハズ・ジャパン) ,  NEMOTO YUICHI (新潟大 大学院) ,  KANETA HIROSHI (九州工大) ,  SAITO HIROYUKI (グローバルウェーハズ・ジャパン) ,  KASHIMA KAZUHIKO (グローバルウェーハズ・ジャパン) ,  SAITO YOSHIHIKO (東芝)
Material： 日本物理学会講演概要集  (日本物理学会年次大会講演概要集)
Volume： 68  Issue： 2 第3分冊  Page： 444  Publication year： Aug. 26, 2013 
JST Material Number： S0671B  ISSN： 1342-8349  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *wafer ,  *void(crystal) ,  *quadrupole ,  strain ,  interaction
Semi thesaurus term： Si wafer ,  atomic vacancy ,  quadrupole

JST classification (2)： Lattice defects in semiconductors  (BK12040Q) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (6)： シリコンウェーハ ,  原子空孔 ,  軌道 ,  四極子 ,  歪み ,  相互作用