Art

J-GLOBAL ID：201302230467444700   Reference number：13A0393491

Design and fabrication of PZT microcantilevers with freestanding structure

Author (3)： KUWANO H ,  ZHANG JY ,  CAO ZP
Material： MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS
Volume： 17  Issue： 8  Page： 1393-1400  Publication year： 2011 
JST Material Number： O3892A  ISSN： 0946-7076  Document type： Article
Country of issue： Other (ZZZ)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (2)： DESIGN ,  PZT