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J-GLOBAL ID：201302244644047220   Reference number：13A1561297

Oxygen tracer diffusion in a-axis oriented ZnO thin films grown on (01<span style=text-decoration:overline>1</span>2) sapphire by pulsed laser deposition

パルスレーザー堆積により(01<span style=text-decoration:overline>1</span>2)サファイア基板上に成長したa-軸配向ZnO薄膜中の酸素トレーサー拡散

Author (7)： SAKAGUCHI Isao (National Inst. Materials Sci., Ibaraki, JPN) ,  WATANABE Ken (National Inst. Materials Sci., Ibaraki, JPN) ,  ADACHI Yutaka (National Inst. Materials Sci., Ibaraki, JPN) ,  OHGAKI Takeshi (National Inst. Materials Sci., Ibaraki, JPN) ,  HISHITA Shunichi (National Inst. Materials Sci., Ibaraki, JPN) ,  OHASHI Naoki (National Inst. Materials Sci., Ibaraki, JPN) ,  HANEDA Hajime (National Inst. Materials Sci., Ibaraki, JPN)
Material： Key Engineering Materials  (Key Eng Mater)
Volume： 566  Page： 266-270  Publication year： 2013 
JST Material Number： D0744C  ISSN： 1013-9826  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Switzerland (CHE)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： laser deposition ,  *evaporated film ,  *zinc oxide ,  *diffusion ,  substrate(plate) ,  diffusion coefficient ,  annealing(heat treatment) ,  crystal orientation ,  oxygen 18 ,  tracer method ,  temperature dependence ,  crystal growth ,  pulsed laser deposition
Semi thesaurus term： sapphire substrate ,  プレアニーリング ,  *oxygen diffusion ,  isotope tracer

JST classification (3)： Properties of ceramics and ceramic whiteware  (YC03030G) ,  Crystal growth of oxides  (BK13050I) ,  Oxide thin films  (BK14050P)

Terms in the title (7)： パルスレーザー堆積 ,  サファイア基板 ,  成長 ,  配向 ,  ZnO薄膜 ,  酸素 ,  トレーサー拡散