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J-GLOBAL ID：201302247431656060   Reference number：13A0215441

Crystalline morphologies of step-graded SiGe layers grown on exact and vicinal (110) Si substrates

正確で微傾斜の(110)Si基板上で成長した階段傾斜SiGe層の結晶形態

Author (8)： NAKAJIMA K ,  USAMI N ,  SHIRAKI Y ,  SAWANO K ,  NAKAGAWA K ,  YAMANAKA J ,  WATANABE M ,  ARIMOTO K
Material： JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH
Volume： 311  Issue： 3  Page： 809-813  Publication year： 2009 
JST Material Number： O2133A  ISSN： 0022-0248  Document type： Article
Country of issue： Other (ZZZ)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (5)： Si基板 ,  成長 ,  階段 ,  SiGe ,  結晶形態