Art

J-GLOBAL ID：201302256041599994   Reference number：13A0153171

Enhancement of cavitation activity and particle removal with pulsed high frequency ultrasound and supersaturation

パルス高周波超音波と過飽和によるキャビテーション活性と粒子除去の増強

Author (11)： HAUPTMANN M. (Imec vzw, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, BEL) ,  HAUPTMANN M. (Lab. voor Akoestiek en Thermische Fysica, Katholieke Universiteit Leuven, Celestijnenlaan 200D, B-3001 Leuven, BEL) ,  FREDERICKX F. (Dep. Gezondheidszorg en Technol., Katholieke Hogeschool Leuven, Herestraat 49, B-3000 Leuven, BEL) ,  STRUYF H. (Imec vzw, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, BEL) ,  MERTENS P. (Imec vzw, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, BEL) ,  HEYNS M. (Imec vzw, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, BEL) ,  HEYNS M. (Dep. Metaalkunde en Toegepaste Materiaalkunde, Katholieke Universiteit Leuven, Kasteelpark Arenberg 44, B-3001 ...) ,  DE GENDT S. (Imec vzw, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, BEL) ,  DE GENDT S. (Dep. Chemie, Katholieke Universiteit Leuven, Celestijnenlaan 200F, B-3001 Leuven, BEL) ,  GLORIEUX C. (Lab. voor Akoestiek en Thermische Fysica, Katholieke Universiteit Leuven, Celestijnenlaan 200D, B-3001 Leuven, BEL) ,  BREMS S. (Imec vzw, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, BEL)
Material： Ultrasonics Sonochemistry  (Ultrason Sonochemist)
Volume： 20  Issue： 1  Page： 69-76  Publication year： Jan. 2013 
JST Material Number： W0716A  ISSN： 1350-4177  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *semiconductor industry ,  *ultrasonic cleaning ,  HF ,  *cavitation ,  *ultrasonic pulse ,  *pulse duration ,  optimization ,  noise (signal) ,  progressive wave ,  *dissolved gas (entrainment) ,  concentration dependence ,  supersaturation ,  nano particle ,  *bubble diameter ,  solution velocity ,  activity (property) ,  silicon dioxide ,  modification
Semi thesaurus term： silica ,  キャビテーションノイズ ,  キャビテーション活性

JST classification (4)： Solid-liquid interface  (CB12050B) ,  Film flows,liquid drops,bubbles,cavitation  (BC02070U) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Applied physicochemical processes and equipment  (XE03000E)

Terms in the title (7)： パルス ,  高周波超音波 ,  過飽和 ,  キャビテーション ,  活性 ,  粒子除去 ,  増強