Art

J-GLOBAL ID：201302268005089228   Reference number：13A0385572

Fabrication of three-dimensional structures of resist by proton beam writing

Author (8)： KAMIYA T ,  ISHII Y ,  OIKAWA M ,  SATO T ,  HAGA J ,  NISHIKAWA H ,  UCHIYA N ,  FURUTA Y
Material： JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B
Volume： 25  Issue： 6  Page： 2171-2174  Publication year： 2007 
JST Material Number： O3242A  ISSN： 1071-1023  Document type： Article
Country of issue： Other (ZZZ)  Language： ENGLISH (EN)