Art

J-GLOBAL ID：201302269135053310   Reference number：13A0215524

In situ CBrCl3 etching to control size and density of InAs/GaAs quantum dots

Author (4)： NOZAKI S ,  UCHIDA K ,  IMANISHI H ,  KOIZUMI A
Material： JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH
Volume： 315  Issue： 1  Page： 106-109  Publication year： 2011 
JST Material Number： O2133A  ISSN： 0022-0248  Document type： Article
Country of issue： Other (ZZZ)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (3)： InAs ,  GaAs ,  DOTS