Art

J-GLOBAL ID：201302274886455159   Reference number：13A1299153

光三次元計測を利用する!高精度平面形状計測

Author (2)： BITO YOICHI (産業技術総合研) ,  KONDO YOHAN (産業技術総合研)
Material： Optronics  (オプトロニクス)
Issue： 380  Page： 71-77  Publication year： Aug. 10, 2013 
JST Material Number： Y0019A  ISSN： 0286-9659  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *shape measurement ,  flatness(property) ,  interferometer ,  large diameter ,  accuracy ,  autocollimator ,  optical measurement ,  tilt angle ,  *photolithography
Semi thesaurus term： EUV lithography ,  Fizeau interferometer ,  high accuracy ,  *three-dimensional shape measurement ,  surface metrology ,  flatness

JST classification (2)： Measuring methods and instruments of length,area,cross section,volume,angle  (AD05020O) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (3)： 三次元計測 ,  平面形状 ,  計測