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J-GLOBAL ID：201302280984733027   Reference number：13A1886565

白金薄膜抵抗を用いたブリッジ回路型水素センサの開発

Author (6)： USHITA YUKI (岡山大) ,  OKUI TAKAHIRO (岡山大) ,  TAKEICHI SHUZO (岡山大) ,  SAKAI KENJI (岡山大) ,  KIWA TOSHIHIKO (岡山大) ,  TSUKADA KEIJI (岡山大)
Material： センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM)  (センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム論文集(CD-ROM))
Volume： 30th  Page： ROMBUNNO.6PM3-PSS-74  Publication year： 2013 
JST Material Number： X0768B  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *Platinum ,  thin film resistor ,  bridge circuit ,  *gas sensor ,  gas leakage ,  Titanium ,  multilayer film ,  layer ,  *hydrogen gas sensor ,  adhesion layer
Semi thesaurus term： gas leak ,  multilayer ,  thin film resistor

JST classification (2)： Control equipment in general  (IC02010N) ,  Fuel cells  (YB04040V)

Terms in the title (4)： 白金薄膜 ,  ブリッジ回路 ,  水素センサ ,  開発