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J-GLOBAL ID：201302283531565912   Reference number：13A1886907

ミニマルファブによる製造技術の革新 ミニマルウェーハ搬送前室システム

Author (8)： MAEKAWA HITOSHI (産業技術総合研) ,  HARA SHIRO (産業技術総合研) ,  MAEKAWA HITOSHI (ミニマルファブ技術研究組合) ,  HARA SHIRO (ミニマルファブ技術研究組合) ,  YOKOYAMA YASUAKI (ナノテック) ,  YOKOYAMA MOTOYOSHI (ナノテック) ,  INUZUKA YOSHIKI (ミニマルファブ技術研究組合) ,  INUZUKA YOSHIKI (三明)
Material： クリーンテクノロジー  (Clean Technology)
Volume： 23  Issue： 12  Page： 21-23  Publication year： Dec. 10, 2013 
JST Material Number： L1138A  ISSN： 0917-1819  CODEN： KTEKER  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *micro circuit technique ,  job shop type production ,  production planning ,  facility planning ,  *transfer system ,  wafer
Semi thesaurus term： ミニマルファブ構想 ,  ハーフインチウェーハ

JST classification (2)： Type of production  (KB03020E) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (1)： ミニマルファブ