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J-GLOBAL ID：201302283918988846   Reference number：13A0794723

DNA ORIGAMI ASSEMBLY ON PATTERNED SILICON BY AFM BASED LITHOGRAPHY

AFMベースのリソグラフィーによるパターン化シリコン上のDNA折り紙組立

Author (9)： AKISHIBA T. (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  TAMURA N. (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  ICHII T. (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  HIRAI Y. (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  SUGANO K. (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  TSUCHIYA T. (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  SUGIMURA H. (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  TABATA O. (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  TABATA O. (Univ. Freiburg, Freiburg, DEU)
Material： Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems  (IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems)
Volume： 26th Vol.1  Page： 307-310  Publication year： 2013 
JST Material Number： W0377A  ISSN： 1084-6999  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *atomic force microscope ,  *lithography ,  silicon ,  DNA ,  scale ,  single-stranded DNA ,  hybridization ,  wafer ,  monomolecular layer ,  MEMS ,  pattern formation ,  Biophysics ,  resolving power ,  nano scale ,  *folding paper ,  single molecule ,  Si wafer ,  self-assembled monolayer
Semi thesaurus term： silicon substrate ,  self-assembled monolayer ,  scanning probe lithography

JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (6)： AFM ,  リソグラフィー ,  パターン化 ,  シリコン ,  DNA折り紙 ,  組立