Art

J-GLOBAL ID：201302298671678870   Reference number：13A0840816

Xylene sensor using double-layered thin film and Ni-deposited porous alumina

二層薄膜及びNi蒸着多孔質アルミナを用いるキシレンセンサ

Author (3)： AKIYAMA Tomo (Tokyo Denki Univ., 5 Senju-Asahi-cho, Adachi-ku, Tokyo 120-8551, JPN) ,  ISHIKAWA Yurie (Tokyo Denki Univ., 5 Senju-Asahi-cho, Adachi-ku, Tokyo 120-8551, JPN) ,  HARA Kazuhiro (Tokyo Denki Univ., 5 Senju-Asahi-cho, Adachi-ku, Tokyo 120-8551, JPN)
Material： Sensors and Actuators. B. Chemical  (Sens Actuators B Chem)
Volume： 181  Page： 348-352  Publication year： May. 2013 
JST Material Number： T0967A  ISSN： 0925-4005  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *alumina ,  *porous medium ,  *alkylbenzene ,  *multilayer film ,  *evaporated film ,  RF sputtering ,  iron oxide ,  titanium oxide ,  magnesium oxide ,  tungsten oxide ,  *Nickel ,  *gas sensor ,  nickel catalyst ,  *porous alumina ,  *Xylenes ,  *bilayer
Semi thesaurus term： *bilayer film

JST classification (1)： Analytical instruments  (CC02020S)

Terms in the title (5)： 二層 ,  薄膜 ,  Ni ,  蒸着 ,  多孔質アルミナ