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J-GLOBAL ID：201303001088057451

装置情報送信装置、装置情報送信システム

Inventor： 山地 要 ,  魚山 和哉 ,  太田 敦 ,  森田 康之
Applicant, Patent owner： 東京エレクトロン株式会社
Agent (2)： 河野 登夫 ,  河野 英仁
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2012070035
Publication number (International publication number)：2013201378
Application date： Mar. 26, 2012
Publication date： Oct. 03, 2013
Summary：

【課題】半導体工場の構外から半導体製造装置の遠隔監視を行うことを可能にする装置情報送信装置を提供する。【解決手段】製造装置の状態を示す情報を取得する取得手段を備え、取得した情報を外部へ送信する装置情報送信装置に、前記製造装置の状態を示す情報を外部へ送信すべきか否かを判定するための送信条件を記憶する送信条件記憶手段と、前記取得手段にて取得した情報が前記送信条件を満たすか否かを判定する判定手段と、該判定手段が前記送信条件を満たすと判定した場合、メール送信プロトコルに従って、前記製造装置の情報を外部へ送信する送信手段とを備える。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

製造装置の状態を示す情報を取得する取得手段を備え、取得した情報を外部へ送信する装置情報送信装置において、 前記製造装置の状態を示す情報を外部へ送信すべきか否かを判定するための送信条件を記憶する送信条件記憶手段と、 前記取得手段にて取得した情報が前記送信条件を満たすか否かを判定する判定手段と、 該判定手段が前記送信条件を満たすと判定した場合、メール送信プロトコルに従って、前記製造装置の情報又は該情報が前記送信条件を満たした旨を示す所定情報を外部へ送信する送信手段と を備えることを特徴とする装置情報送信装置。

IPC (2)：

H01L 21/02 ,  G06F 21/60

FI (2)：

H01L21/02 Z ,  G06F21/24 160A