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J-GLOBAL ID：201303001908490570

電磁波パルス測定装置

Inventor：
中西 英俊

About 中西 英俊


Applicant, Patent owner：
大日本スクリーン製造株式会社

About 大日本スクリーン製造株式会社


Agent (2)： 吉竹 英俊 ,  有田 貴弘
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2011179563
Publication number (International publication number)：2013040893
Application date： Aug. 19, 2011
Publication date： Feb. 28, 2013
Summary：
【課題】電磁波パルスを利用して取得される試料の情報の画像化を、効率良く行う技術を提供する。【解決手段】テラヘルツ波測定装置100は、照射部12を試料Wに対して相対的に移動させる移動機構15と、検出部13に入射するプローブ光LP12の光路長が互いに相違する第1の測定用光路長、第2の測定用光路長および第3の測定用光路長のそれぞれに設定されるように遅延部14を制御する制御部17を備えている。また、テラヘルツ波測定装置100は、検出部13にて検出された電界強度を、RGBの階調特性を示す階調データに変換するデータ変換部25と、検出部13にて検出される電界強度に関する情報が前記階調データに応じた色調で表現された画像を生成する画像生成部26とを備える。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
試料を透過または反射した電磁波パルスを測定する電磁波パルス測定装置において、 レーザ光源から出射されたパルス光を受光して、電磁波パルスを試料に照射する照射部と、 前記試料を透過または反射した電磁波パルスを、前記パルス光の照射に応じて検出する検出部と、 前記レーザ光源から前記照射部までの前記パルス光の第1光路、または、前記レーザ光源から前記検出部までの前記パルス光の第2光路の光路長を変更する光路長変更部と、 前記照射部を前記試料に対して相対的に移動させる相対移動機構と、 前記光路長が互いに相違する第1の測定用光路長、第2の測定用光路長および第3の測定用光路長のそれぞれに設定されるように前記光路長変更部を制御する制御部と、 前記光路長が前記第1から第3の測定用光路長のそれぞれに設定されているときに前記検出部にて検出される電界強度を、3つの特定色の階調特性を示す階調データにそれぞれ変換するデータ変換部と、 前記電界強度に関する情報が前記階調データに応じた色調で表現される画像を生成する画像生成部と、 を備える電磁波パルス測定装置。
IPC (2)：
G01N 21/35 ,  G01N 21/27
FI (2)：
G01N21/35 Z ,  G01N21/27 A
F-Term (21)：
2G059AA03 ,  2G059BB08 ,  2G059BB15 ,  2G059BB16 ,  2G059EE01 ,  2G059EE02 ,  2G059FF01 ,  2G059GG01 ,  2G059GG08 ,  2G059HH01 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ14 ,  2G059JJ18 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK02 ,  2G059KK10 ,  2G059MM01 ,  2G059MM04 ,  2G059MM05 ,  2G059MM09 ,  2G059PP04
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (3) Cited by examiner (3)

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