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J-GLOBAL ID:201303006916222765

薄膜固体二次電池用の薄膜の製造方法とそれに用いる塗布液、及び薄膜、並びにそれを用いた薄膜固体二次電池

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 押田 良隆
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2012184729
Publication number (International publication number):2013062242
Application date: Aug. 24, 2012
Publication date: Apr. 04, 2013
Summary:
【課題】 正負極集電体層及び正負極活物質層、固体電解質層の各薄膜を有する薄膜固体二次電池において、各薄膜の形成を塗布法という簡便な方法により行う薄膜固体二次電池用の薄膜の製造方法とそれに用いる塗布液、及びこの製造方法で得られる薄膜、並びにその薄膜を用いて、薄型化、小型化、低コスト化が図られた薄膜固体二次電池を提供する。【解決手段】 基板上に順次形成されている正極集電体層、正極活物質層、固体電解質層、負極活物質層、負極集電体層から成る積層構造、あるいは、これと逆の順に基板上に形成されている負極集電体層、負極活物質層、固体電解質層、正極活物質層、正極集電体層から成る積層構造を有する薄膜固体二次電池における正極活物質層、固体電解質層、負極活物質層の少なくとも一つ以上の薄膜の製造方法であって、薄膜が主成分として有機金属化合物を含有する塗布液を塗布して塗布膜を形成する塗布工程、前記塗布膜を乾燥して乾燥塗布膜を形成する乾燥工程、前記乾燥工程で形成された有機金属化合物を主成分とする乾燥塗布膜を無機化して、金属酸化物を主成分とする無機薄膜を形成する無機化工程の各工程からなる塗布法により形成され、無機化工程が酸素含有雰囲気下で加熱処理、エネルギー線照射処理、プラズマ照射処理の少なくともいずれかの処理により乾燥塗布膜に含まれる有機成分を分解または酸化、あるいは分解並びに酸化により除去することで金属酸化物を主成分とする微粒子で構成される無機薄膜(金属酸化物微粒子膜)を形成する工程であることを特徴とする。【選択図】なし
Claim (excerpt):
基板上に順次形成されている正極集電体層、正極活物質層、固体電解質層、負極活物質層、負極集電体層から成る積層構造、あるいは、これと逆の順に基板上に形成されている負極集電体層、負極活物質層、固体電解質層、正極活物質層、正極集電体層から成る積層構造を有する薄膜固体二次電池における正極活物質層、固体電解質層、負極活物質層の少なくとも一つ以上の薄膜の製造方法であって、 前記薄膜が、主成分として有機金属化合物を含有する正極活物質層形成用塗布液、固体電解質層形成用塗布液、負極活物質層形成用塗布液から選択されるいずれかの塗布液を塗布して塗布膜を形成する塗布工程、前記塗布膜を乾燥して乾燥塗布膜を形成する乾燥工程、前記乾燥工程で形成された有機金属化合物を主成分とする乾燥塗布膜を無機化して、金属酸化物を主成分とする無機薄膜を形成する無機化工程の各工程からなる塗布法により形成され、 前記無機化工程が、酸素含有雰囲気下で加熱処理、エネルギー線照射処理、プラズマ照射処理の少なくともいずれかの処理により乾燥塗布膜に含まれる有機成分を分解または酸化、あるいは分解および酸化により除去することで金属酸化物を主成分とする微粒子で構成される無機薄膜(金属酸化物微粒子膜)を形成する工程であることを特徴とする薄膜の製造方法。
IPC (9):
H01M 10/058 ,  H01M 4/139 ,  H01M 4/58 ,  H01M 10/056 ,  H01M 4/48 ,  H01M 4/485 ,  H01M 2/02 ,  H01M 4/66 ,  H01M 10/052
FI (11):
H01M10/00 117 ,  H01M4/02 109 ,  H01M4/02 113 ,  H01M4/58 101 ,  H01M10/00 107 ,  H01M4/02 108 ,  H01M4/48 101 ,  H01M4/48 102 ,  H01M2/02 K ,  H01M4/66 A ,  H01M10/00 103
F-Term (38):
5H011AA09 ,  5H011CC02 ,  5H011CC05 ,  5H017AA03 ,  5H017CC01 ,  5H017CC03 ,  5H017EE01 ,  5H029AJ01 ,  5H029AJ14 ,  5H029AK01 ,  5H029AK03 ,  5H029AL02 ,  5H029AL03 ,  5H029AM12 ,  5H029BJ04 ,  5H029CJ02 ,  5H029CJ11 ,  5H029CJ22 ,  5H029CJ28 ,  5H029DJ02 ,  5H029HJ02 ,  5H029HJ04 ,  5H029HJ14 ,  5H050AA15 ,  5H050BA16 ,  5H050BA17 ,  5H050CA01 ,  5H050CA07 ,  5H050CA08 ,  5H050CA09 ,  5H050CB02 ,  5H050CB03 ,  5H050DA04 ,  5H050EA27 ,  5H050FA17 ,  5H050GA02 ,  5H050GA11 ,  5H050GA22

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