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J-GLOBAL ID：201303013641403426

微細物性加工方法および微細物性加工装置

Inventor： 守友 浩 ,  金 廷恩 ,  加藤 健一 ,  高田 昌樹
Applicant, Patent owner： 国立大学法人 筑波大学
Agent (1)： 亀井 岳行
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2007191255
Publication number (International publication number)：2009023892
Patent number：5243741
Application date： Jul. 23, 2007
Publication date： Feb. 05, 2009
Claim (excerpt)：

【請求項1】 結晶水を含有するシアノ架橋金属錯体に電磁波を照射して、前記シアノ架橋金属錯体の結晶水を脱離させることで、電磁波が照射される被加工位置の物性を変化させることを特徴とする微細物性加工方法。

IPC (2)：

C01C 3/08 ( 200 6.01) ,  B01J 19/12 ( 200 6.01)

FI (3)：

C01C 3/08 ,  B01J 19/12 C ,  B01J 19/12 B

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• 磁気記録方式
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-270565   Applicant：株式会社日立製作所
• 特開平1-249171
  

Article cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• Charge-transfer transition in two-dimensional Cs[Co(3-cyanopyridine)2][W(CN)8]?H2O as investigated b
• Role of the intermediate state in the photoinduced process of Co-Fe cyanide