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J-GLOBAL ID：201303016311512740
挿入光源
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
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Agent (1)：
特許業務法人 ユニアス国際特許事務所
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2008240400
Publication number (International publication number)：2009004388
Patent number：5105089
Application date： Sep. 19, 2008
Publication date： Jan. 08, 2009
Claim (excerpt)：
【請求項1】 周期磁場を形成するための第1磁気回路と、
この第1磁気回路を支持するための第1支持体と、
第1磁気回路に対向配置され、周期磁場を形成するための第2磁気回路と、
この第2磁気回路を支持するための第2支持体と、
対向配置される第1磁気回路と第2磁気回路の間に形成され、電子ビームが通過するための空間部と、
第1磁気回路と第2磁気回路とを真空封止する真空槽と、
第1磁気回路と第2磁気回路を構成する永久磁石を冷却するための冷却機構と、
第1磁気回路の温度を検出する第1温度センサーと、
第1磁気回路を加熱可能な第1ヒーターと、
第2磁気回路の温度を検出する第2温度センサーと、
第2磁気回路を加熱可能な第2ヒーターと、
第1・第2温度センサーによる温度計測データに基づいて、第1ヒーター及び第2ヒーターを制御する温度制御部とを備え、
前記第1支持体は、永久磁石を取り付けるため、第1磁石ホルダと第1磁石取付ビームを備え、
前記第2支持体は、永久磁石を取り付けるため、第2磁石ホルダと第2磁石取付ビームを備え、
前記第1磁石取付ビームに前記第1ヒータが取り付けられ、
前記第2磁石取付ビームに前記第2ヒータが取り付けられることを特徴とする挿入光源。
IPC (2)：
H05H 13/04 ( 200 6.01)
, H05H 7/04 ( 200 6.01)
Cited by applicant (7)
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挿入型偏光発生装置
Gazette classification：公開公報
Application number：特願2000-268940
Applicant：住友特殊金属株式会社
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加速管の温度調節システム
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平9-172857
Applicant：川崎重工業株式会社
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超電導ウィグラ励磁方法および超電導ウィグラ
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平8-354021
Applicant：川崎重工業株式会社
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Cited by examiner (7)
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挿入型偏光発生装置
Gazette classification：公開公報
Application number：特願2000-268940
Applicant：住友特殊金属株式会社
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加速管の温度調節システム
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平9-172857
Applicant：川崎重工業株式会社
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超電導ウィグラ励磁方法および超電導ウィグラ
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平8-354021
Applicant：川崎重工業株式会社
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Article cited by the Patent：
Cited by applicant (2)
Cited by examiner (2)
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