Pat

J-GLOBAL ID：201303022106626679

偏光素子ユニットおよびこの偏光素子ユニットを用いた光照射装置並びに偏光素子ユニットの透過率設定方法

Inventor： 木尾 智彦 ,  益田 秀之
Applicant, Patent owner： ウシオ電機株式会社
Agent (1)： 長澤 俊一郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2011184598
Publication number (International publication number)：2013045053
Application date： Aug. 26, 2011
Publication date： Mar. 04, 2013
Summary：

【課題】複数のワイヤーグリッド偏光素子を並べて構成した偏光素子ユニットにおいて、各偏光素子の透過率に個体差があっても、光照射領域の照度分布を均一にすること。【解決手段】複数のワイヤーグリッド偏光素子55a〜55dを、各々の端部が光源からの光が通過する方向に重なるように枠体52内に一方向に並べて配置し、上記枠体52に、個々の偏光素子55a〜55dに対応させて、各偏光素子を通過する光を遮光する遮光手段80を設ける。遮光手段80は複数の遮光板81から構成され、各遮光板81は、各偏光素子55a〜55d上への突出量が可変であり、遮光板81の突出量を変えることにより、各偏光素子を透過する光の透過量を調整する。これにより、各ワイヤーグリッド偏光素子55a〜55dの透過率に個体差があっても、各偏光素子55a〜55dを透過する光の量を同じにすることができ、光照射領域の照度分布を均一にすることができる。【選択図】 図4

Claim (excerpt)：

光源からの光を偏光する偏光素子ユニットであって、 複数のワイヤーグリッド偏光素子を、各々の端部が光源からの光が通過する方向に重なるように枠体内に一方向に並べて配置し、 上記枠体には、並べて配置した個々の偏光素子に対応して、各偏光素子を通過する光を遮光する遮光手段が設けられ、 上記遮光手段は、上記一方向に沿って並べて配置され、各遮光手段は上記一方向に対して交差する方向に上記枠体から上記偏光素子上への突出量が可変である ことを特徴とする偏光素子ユニット。

IPC (2)：

G02B 5/30 ,  G02F 1/133

FI (3)：

G02B5/30 ,  G02F1/13363 ,  G02F1/1337

F-Term (14)：

2H090HC18 ,  2H090MB12 ,  2H149AA02 ,  2H149AA21 ,  2H149AB02 ,  2H149BA04 ,  2H149BA23 ,  2H149FB00 ,  2H149FC00 ,  2H191FA30X ,  2H191FA30Z ,  2H191FC33 ,  2H191FC41 ,  2H191LA24