透明導電膜作成方法および透明導電膜素材

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：田邊義博
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2011166506
Publication number (International publication number)：2013030399
Application date： Jul. 29, 2011
Publication date： Feb. 07, 2013
Summary：

【課題】既知のNTO膜より低抵抗な透明伝導膜の製造方法および透明電動膜素材を提供すること。【解決手段】ガラス基板等に導電性透明酸化亜鉛膜とNTO膜とをこの順に形成したのちにアニール処理することを特徴とする透明導電膜の作成方法である。導電性透明酸化亜鉛は、GZOとすることができる。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

透明基板に導電性透明酸化亜鉛膜とNTO膜とをこの順に形成したのちにアニール処理することを特徴とする透明導電膜の作成方法。

IPC (4)：

H01B 13/00 , H01B 5/14 , B32B 9/00 , C23C 14/06

FI (4)：

H01B13/00 503B , H01B5/14 A , B32B9/00 A , C23C14/06 P

F-Term (30)：

4F100AA18B , 4F100AA21C , 4F100AT00A , 4F100BA03 , 4F100BA10A , 4F100BA10C , 4F100EJ42 , 4F100GB41 , 4F100JG01 , 4F100JG01B , 4F100JG01C , 4F100JN01 , 4F100JN01A , 4F100JN01B , 4K029AA09 , 4K029AA24 , 4K029BA48 , 4K029BA49 , 4K029BB02 , 4K029BC09 , 4K029CA05 , 4K029DC05 , 4K029DC35 , 4K029GA01 , 5G307FA01 , 5G307FB01 , 5G307FC10 , 5G323BA02 , 5G323BB05 , 5G323BC03

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

光電変換素子および光検出素子
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2008-248503 Applicant：住友化学株式会社

Return to Previous Page