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J-GLOBAL ID：201303034376206483

被測定物特性測定装置

Inventor： 吉村 直之 ,  谷津田 博美
Applicant, Patent owner： 日本無線株式会社
Agent (3)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  小室 敏雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2012232060
Publication number (International publication number)：2013148572
Application date： Oct. 19, 2012
Publication date： Aug. 01, 2013
Summary：

【課題】弾性波による信号からバルク波による信号を分離し、弾性表面波による信号に基づき、被測定物の物理的特性を高精度に求める。【解決手段】圧電基板上の第1面に形成され弾性波を励振させ弾性波に基づく反射を受信する櫛形電極と、弾性波の伝搬方向における第1面に直交する第2面との間に第1面の法線方向に第1面と異なる位置に形成される第3面と、第1面の法線方向に垂直に形成される第1面の端部と第3面とを結ぶ第4面とを有する反射部と、櫛形電極と反射部との間に形成され被測定物が負荷される反応場と、反射部と第2面との間に形成されている伝搬部とを備える弾性表面波素子を備え、櫛形電極から反応場を伝搬し第4面により反射され櫛形電極により受信された弾性波から、第2面により反射され櫛形電極により受信された弾性表面波に含まれるバルク波から分離した弾性表面波に基づき被測定物の特性を求める。【選択図】図1A

Claim (excerpt)：

圧電基板上の第1面に形成され、弾性波を励振させ、前記弾性波に基づく反射を受信する櫛形電極と、 前記櫛形電極と前記弾性波の伝搬方向における前記圧電基板の前記第1面に直交する第2面との間に、前記第1面の法線方向に前記第1面と異なる位置に形成される第3面と、前記第1面の法線方向に垂直に形成される前記第1面の端部と前記第3面とを結ぶ第4面とを有する反射部と、 前記櫛形電極と前記反射部との間に形成され被測定物が付加される反応場と、 前記反射部と前記第2面との間に形成されている伝搬部と、 を備える弾性表面波素子を備え、 前記櫛形電極から前記反応場を伝搬し、前記反射部の前記第4面により反射され、前記櫛形電極により受信された前記弾性波に含まれる前記圧電基板の表面を伝搬する弾性表面波を、前記圧電基板の前記第2面により反射され、前記櫛形電極により受信された前記弾性波に含まれる前記圧電基板の内部を伝搬するバルク波から分離して抽出し、抽出した前記弾性表面波に基づき、前記被測定物の特性を求める ことを特徴とする被測定物特性測定装置。

IPC (2)：

G01N 29/02 ,  G01N 29/00

FI (2)：

G01N29/02 ,  G01N29/18

F-Term (9)：

2G047AA01 ,  2G047BC02 ,  2G047CA01 ,  2G047CB03 ,  2G047GB21 ,  2G047GG01 ,  2G047GG29 ,  2G047GG30 ,  2G047GG31