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J-GLOBAL ID：201303035116038613
放電イオン化電流検出器
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
特許業務法人京都国際特許事務所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2011275922
Publication number (International publication number)：2013125022
Application date： Dec. 16, 2011
Publication date： Jun. 24, 2013
Summary：
【課題】低コストに製造することができ、且つ耐久性に優れた放電イオン化電流検出器を提供する。【解決手段】誘電体被覆金属管16とその内部に挿入された絶縁体被覆金属線18から成る電極構造体19を、誘電体管10を含む第1ガス流路の内部に上方から挿入する。金属管16は第1ガス流路の上流側で接地する。金属線18は一端を第1ガス流路の上流側から外部に引き出してバイアス電源33に接続し、他端に絶縁体被覆がない領域を設け、該領域を第1ガス流路の下流に連通する第2ガス流路内に配置する。また、第2ガス流路にフランジ付金属管28から成る金属電極を配置し、これをイオン電流検出用回路34に接続する。これにより、高温となる第2ガス流路から金属と絶縁部材の接触部を減らすことができ、耐久性を向上させることができると共に高価な高耐熱性のシール材や絶縁部材の使用量を減らすことができる。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
内部にプラズマ生成用ガスが流通される第1ガス流路と、前記第1ガス流路の下流側に連通する第2ガス流路とを有し、前記第1ガス流路中での放電により前記プラズマ生成用ガスからプラズマを生成させ、第2ガス流路中にて該流路中に供給された試料ガス中の試料成分を前記プラズマの作用によってイオン化し、該イオン化された試料成分によるイオン電流を検出する放電イオン化電流検出器であって、
a)前記第1ガス流路の少なくとも一部を形成する誘電体管と、
b)前記誘電体管の外周に取り付けられたプラズマ生成用励起電極と、
c)前記第2ガス流路内に前記試料ガスと接触するように配置された金属電極と、
d)前記第1ガス流路内に挿入された電極構造体と、
を有し、
前記電極構造体が、誘電体で被覆された金属管と、絶縁体で被覆され前記金属管内に挿入された金属線とを含み、
前記金属管は、その一端が前記第1ガス流路の上流側で電気的に接地され、その他端が少なくともプラズマ生成用励起電極と対向する位置まで延伸し、
前記金属線は、その一端が前記第1ガス流路の上流側から外部に引き出されると共に、その他端に絶縁体被覆がない領域が形成されて該領域が第2ガス流路内に前記試料ガスと接触するように配置されており、
前記金属線の一端及び前記金属電極のいずれか一方がバイアス電源に接続され、他方がイオン電流検出用回路に接続されていることを特徴とする放電イオン化電流検出器。
IPC (2)：
FI (2)：
F-Term (3)：
2G041CA04
, 2G041DA07
, 2G041EA06
