Pat
J-GLOBAL ID:201303041130640172
面圧センサ
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
,
Agent (5):
綿貫 隆夫
, 岡村 隆志
, 堀米 和春
, 平井 善博
, 傳田 正彦
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2012051440
Publication number (International publication number):2013185966
Application date: Mar. 08, 2012
Publication date: Sep. 19, 2013
Summary:
【課題】面圧センサの検出精度を向上する。【解決手段】面に作用する外圧を検出する面圧センサ10であって、基板11と、基板11に設けられたセンサ部と、センサ部に設けられた検出素子と、センサ部を除いた基板11に設けられた補正素子とを備える。基板11が、主面11aと裏面とを有する。基板11の裏面には、凹部14が形成される。センサ部として、ひずみ受感部15が、凹部14が形成されたことによる基板11の肉薄部から構成される。検出素子および補正素子としてのひずみゲージが、基板11の主面11a上でパターニングされた金属膜から構成される。【選択図】図11
Claim (excerpt):
面に作用する外圧を検出する面圧センサであって、
基板と、
前記基板中の凹部をもって形成されるひずみ受感部と、
前記ひずみ受感部に設けられた第1ひずみゲージと、
前記ひずみ受感部を除いた前記基板に設けられた第2ひずみゲージと
を備えることを特徴とする面圧センサ。
IPC (2):
FI (2):
G01L1/22 F
, G01L5/00 101Z
F-Term (8):
2F049AA16
, 2F049BA13
, 2F049CA01
, 2F049CA05
, 2F049DA04
, 2F051AA12
, 2F051AA13
, 2F051AB09
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (5)
-
特開昭62-042025
-
特開昭59-231430
-
特開平4-346042
-
特開平3-249532
-
特開平3-159274
Show all
Cited by examiner (5)
-
特開昭62-042025
-
特開昭59-231430
-
特開平4-346042
-
特開平3-249532
-
特開平3-159274
Show all
Return to Previous Page