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J-GLOBAL ID：201303042132502091

微小材料ひずみ計測装置及びその方法

Inventor： 高島 和希 ,  大津 雅亮 ,  松田 光弘 ,  倉原 宏明 ,  前田 英孝 ,  米倉 忠弘
Applicant, Patent owner： 国立大学法人 熊本大学 ,  シグマ光機株式会社
Agent (3)： 牧野 剛博 ,  松山 圭佑 ,  須藤 修三
Gazette classification：再公表公報
Application number (International application number)：JP2011062565
Publication number (International publication number)：WO2011152441
Application date： Jun. 01, 2011
Publication date： Dec. 08, 2011
Summary：

微小材料に対して非接触でありながら引張応力または圧縮応力に対するひずみを正確に計測可能となる。計測部150に、計測対象領域108からの測定光と参照鏡166Dからの参照光とによって形成される干渉光を検出するCCDカメラ170と、参照鏡166Dを備える第1対物レンズ166と、干渉光のコントラストが最大となる第1対物レンズ166の位置から計測対象領域108の3次元形状を測定するとともに、3次元形状に基づく2つの標点間の距離を計測する画像処理装置と、を備え、且つ、ひずみ発生部130に、引張応力を計測するロードセル146と、ひずみを発生させる微動Xステージ140と、を備え、ひずみを微小材料102に発生させた際には、計測された引張応力と、ひずみで変化した2つの標点間の距離とに基づいて、引張応力に対するひずみが計測される。

Claim (excerpt)：

微小材料に引張応力または圧縮応力を加えて該微小材料にひずみを発生させるとともに該引張応力または圧縮応力を計測するひずみ発生部と、該ひずみによる該微小材料の変形を計測する計測部と、を有する微小材料ひずみ計測装置であって、 前記計測部に、前記微小材料の計測対象領域を照射する白色光源と、該白色光源で照射された該計測対象領域からの光である測定光と該白色光源から分岐された光で照射された参照鏡からの光である参照光とによって形成される干渉光を検出する2次元光電センサと、該干渉光を該2次元光電センサに受光させるとともに前記参照鏡を備える第1対物レンズと、該第1対物レンズの光軸方向における相対的な走査で前記干渉光のコントラストが最大となる該第1対物レンズの位置から前記計測対象領域の3次元形状を測定するとともに、該3次元形状に基づいて該計測対象領域における変位を計測する上で基準となる位置である標点を複数定め且つ該複数の標点間の距離を計測する画像処理装置と、を備え、且つ、 前記ひずみ発生部に、前記微小部材を保持するための2つのチャック部と、該2つのチャック部の一方を支持し前記引張応力または圧縮応力を計測する応力検出手段と、該2つのチャック部の距離を変化させることで前記ひずみを発生させる移動機構と、を備え、 該移動機構により前記ひずみを前記微小材料に発生させた際には、前記応力検出手段によって計測された前記引張応力または圧縮応力と、前記第1対物レンズが前記光軸方向で相対的に走査されることで、前記ひずみで変化した前記複数の標点が見失われることなく追従して特定されて計測された該複数の標点間の距離とに基づいて、前記引張応力また圧縮応力に対する前記ひずみが計測される ことを特徴とする微小材料ひずみ計測装置。

IPC (2)：

G01N 3/06 ,  G01N 3/08

FI (2)：

G01N3/06 ,  G01N3/08

F-Term (7)：

2G061AA01 ,  2G061AA02 ,  2G061AB01 ,  2G061BA07 ,  2G061DA19 ,  2G061EB07 ,  2G061EC05