広波長域小型分光器

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：亀井岳行
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2005026675
Publication number (International publication number)：2005249777
Patent number：4715215
Application date： Feb. 02, 2005
Publication date： Sep. 15, 2005
Claim (excerpt)：

【請求項1】入射スリットを通過した測定光をコリメート光にするコリメータと、前記入射スリットに平行な回転軸回りに回転可能に支持され且つ前記コリメート光の光路中に配置された回折格子と、前記回折格子で回折して1個の回折光集束部材の異なる複数の位置にそれぞれ設けられた反射面を有し、各反射面に入射する複数の回折光をそれぞれ異なる複数の集束位置に集束させる前記1個の回折光集束部材と、前記複数の各回折光の集束位置にそれぞれ配置された透過波長領域の異なる複数のフィルタおよび前記複数の各フィルタを透過した光量をそれぞれ検出する光量検出器と、前記1個の回折光集束部材により回折光が集束する前記複数の各集束位置の中の1つの集束位置に配置された1次回折光を透過させる1次回折光透過フィルタおよび、他の1つの集束位置に配置された2次回折光を透過させる2次回折光透過フィルタを含む前記複数のフィルタと、前記入射スリットに平行な回転軸回りに回転可能に支持され且つ前記回転軸の軸方向に並んで前記コリメート光の光路中に配置された格子定数dが異なる複数の前記回折格子と、前記複数の各回折格子で回折された前記コリメート光の複数の各回折光をそれぞれ集束させる前記回折光集束部材であって、前記複数の各回折格子に対応してそれぞれ設けられた前記回折光集束部材と、を備え、前記光量検出器が、複数の前記回折格子の中の第1の回折格子で回折され且つ透過波長域が550nm以上の1次回折光透過フィルタを通過した波長領域が600nm〜1100nmの1次回折光を検出可能なシリコン製の光量検出部を有する第1の光量検出器と、前記第1の回折格子で回折され且つ透過波長域が250nm〜600nmの前記2次回折光透過フィルタを通過した波長領域が250nm〜600nmの2次回折光を検出可能なシリコン製の光量検出部を有する第2の光量検出器と、複数の前記回折格子の中の第2の回折格子で回折され且つ透過波長域が1400nm以上の1次回折光透過フィルタを通過した波長領域が1400nm〜2600nmの1次回折光を検出可能なインジウム・ガリウム・ヒ素製の光量検出部を有する第3の光量検出器と、前記第2の回折格子で回折され且つ透過波長域が900nm以上の1次回折光透過フィルタを通過した波長領域が1000nm〜1700nmの1次回折光を検出可能なインジウム・ガリウム・ヒ素製の光量検出部を有する第4の光量検出器と、を有し、前記第3の光量検出器が冷却されながら使用されることを特徴とする広波長域小型分光器。

IPC (2)：

G01J 3/18 ( 200 6.01) , G01J 3/51 ( 200 6.01)

FI (2)：

G01J 3/18 , G01J 3/51

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

分光器
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-326541 Applicant：株式会社東京インスツルメンツ
特開平2-085729
特開平4-093915

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Article cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

光の検出器とその用い方, 19910901, 初版, p.46〜53

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