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J-GLOBAL ID：201303055383099339

ワーク浮上装置

Inventor： 津野 洋明 ,  吉本 成香 ,  杣谷 啓
Applicant, Patent owner： 津野 洋明 ,  吉本 成香 ,  杣谷 啓
Agent (4)： 津野 孝 ,  小田 光春 ,  加藤 来 ,  清水 貴光
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2012118928
Publication number (International publication number)：2013245732
Application date： May. 24, 2012
Publication date： Dec. 09, 2013
Summary：

【課題】給気時および停止時において多孔質フィルムの形状が安定するとともに一つの気体絞り機構における給気・排気を切替えて給気の場合および排気の場合の両方に対応するワーク浮上装置を提供すること。【解決手段】複数の気体絞り機構Aが、気体量を絞り調整する多孔質フィルム130と、多孔質フィルムの上に積層される第1平板状通気部材140と、多孔質フィルムの下に積層される第2平板状通気部材150と、第1平板状通気部材の上に配設して第1穴部111を有した第1ベースプレート110と、第2平板状通気部材の下に配設して第1穴部と対向する位置に第2穴部121を有した第2ベースプレート120とで構成され、第1平板状通気部材、多孔質フィルムおよび第2平板状通気部材が、第1穴部と第2穴部との間に配設され、多孔質フィルムが、第1平板状通気部材と第2平板状通気部材とで挟持されていることを特徴とするワーク浮上装置100。【選択図】図5

Claim (excerpt)：

ワーク浮上装置のベース面とワークとの間に介在させてワークを浮上させる気体の気体量を複数の気体絞り機構を介して調整するワーク浮上装置において、 前記複数の気体絞り機構が、前記気体量を絞り調整する多孔質フィルムと、該多孔質フィルムの上に積層される第1平板状通気部材と、前記多孔質フィルムの下に積層される第2平板状通気部材と、前記第1平板状通気部材の上に配設して上下方向に延びた複数の第1穴部を有した第1ベースプレートと、前記第2平板状通気部材の下に配設して第1穴部と対向する位置に上下方向に延びた複数の第2穴部を有した第2ベースプレートとでそれぞれ構成され、 前記第1平板状通気部材、多孔質フィルムおよび第2平板状通気部材が、前記第1穴部と第2穴部との間に配設されているとともに、前記多孔質フィルムが、前記第1平板状通気部材と第2平板状通気部材とで挟持されていることを特徴とするワーク浮上装置。

IPC (3)：

F16C 32/06 ,  H01L 21/677 ,  B65G 49/06

FI (4)：

F16C32/06 Z ,  F16C32/06 B ,  H01L21/68 A ,  B65G49/06 Z

F-Term (15)：

3J102AA02 ,  3J102BA20 ,  3J102EA02 ,  3J102EA06 ,  3J102EA09 ,  3J102EA18 ,  3J102EA22 ,  3J102FA08 ,  5F131AA03 ,  5F131AA32 ,  5F131BA39 ,  5F131CA08 ,  5F131DA02 ,  5F131DC13 ,  5F131DC15