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J-GLOBAL ID:201303058684106720
対象物測定装置
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
平井 安雄
Gazette classification:特許公報
Application number (International application number):2007042929
Publication number (International publication number):2008203221
Patent number:4967130
Application date: Feb. 22, 2007
Publication date: Sep. 04, 2008
Claim (excerpt):
【請求項1】 透明体又は導電体からなる測定対象物に対して光を照射する光照射手段と、
前記測定対象物が透明体の場合は不透明な部材を背面に配設し、測定対象物が導電体の場合は不導電体の部材を背面に配設し、当該各々配設された測定対象物に光を照射して測定対象物からの反射光を受光し、当該受光光により二つの所定面積を有する電極間の光電半導体の抵抗値を変化させる複数の光導電素子を所定の間隔で離隔配設し、前記複数の光導電素子の少なくとも一の光導電素子の一方の電極に交流電源が接続されると共に、他の光導電素子の一方の電極が出力端子として形成される検知手段と、
前記検知手段の検知動作と同じ条件で予め検出された前記測定対象物に関する厚さ情報及び位置情報が基準データとして格納される基準データ記録手段と、
前記光照射手段で測定対象物に対して光を照射した場合と、光を照射しない場合の、前記検知手段の出力端子からの各検知信号、及び基準データに基づき、前記測定対象物の厚さ及び光導電素子からの距離を判別する測定対象物判別手段とを備えることを
特徴とする対象物測定装置。
IPC (2):
G01B 11/02 ( 200 6.01)
, G01B 11/00 ( 200 6.01)
FI (2):
G01B 11/02 Z
, G01B 11/00 Z
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)
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対象物測定装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2005-240479
Applicant:国立大学法人佐賀大学
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光学部材検査装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2004-128081
Applicant:ペンタックス株式会社
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特開平3-125904
Article cited by the Patent: