Pat

J-GLOBAL ID：201303060000228746

物理量検出器、物理量検出デバイス、電子機器及び物理量検出器の製造方法

Inventor： 渡辺 潤 ,  中仙道 和之 ,  亀田 高弘
Applicant, Patent owner： セイコーエプソン株式会社
Agent (3)： 上柳 雅誉 ,  須澤 修 ,  宮坂 一彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2011162894
Publication number (International publication number)：2013024828
Application date： Jul. 26, 2011
Publication date： Feb. 04, 2013
Summary：

【課題】検出感度、検出精度などの物理量検出特性を向上させることが可能な物理量検出器、この物理量検出器を備えた物理量検出デバイス及び電子機器、並びに物理量検出器の製造方法の提供。【解決手段】加速度検出器1は、ベース部10と、ベース部10に継ぎ手部11を介して接続され、継ぎ手部11を支点にして変位可能な平板状の可動部12と、ベース部10と可動部12とに継ぎ手部11を跨いで架け渡された状態で固定され、可動部12の変位により物理量を検出する物理量検出素子13と、を備え、可動部12は、主面12aに質量部15が搭載され、質量部15は、肉厚部15aと肉厚部15aよりも薄い質量調整用の肉薄部15b,15cとを有し、肉薄部15b,15cは、主面12aとの間に空隙を有することを特徴とする。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

ベース部と、 前記ベース部に継ぎ手部を介して接続され、前記継ぎ手部を支点にして変位可能な平板状の可動部と、 前記ベース部と前記可動部とに前記継ぎ手部を跨いで架け渡された状態で固定され、前記可動部の変位により物理量を検出する物理量検出素子と、を備え、 前記可動部は、両主面の少なくとも一方に質量部が搭載され、 前記質量部は、肉厚部と該肉厚部よりも薄い質量調整用の肉薄部とを有することを特徴とする物理量検出器。

IPC (3)：

G01P 15/10 ,  G01C 9/06 ,  G01C 9/12

FI (3)：

G01P15/10 ,  G01C9/06 E ,  G01C9/12 P