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J-GLOBAL ID:201303061829547110

X線分析装置及びX線分析方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 野口 繁雄
Gazette classification:特許公報
Application number (International application number):2007182827
Publication number (International publication number):2008039772
Patent number:5102549
Application date: Jul. 12, 2007
Publication date: Feb. 21, 2008
Claim (excerpt):
【請求項1】 X線ビームを先端から試料に照射するX線照射機構と、 試料から放出された蛍光X線を検出するX線検出器と、 基端部に前記X線検出器を備え、試料に対して前記X線照射機構と同じ側に配置され、先端から入射した蛍光X線を内部通路を通って前記X線検出器に導くX線検出用導管と、を備え、 前記X線照射機構の先端部と前記X線検出用導管の先端部は試料に前記X線ビームを照射し、試料からの蛍光X線が入射するように一つに合体されており、 前記X線照射機構の基端部は一次X線源に結合され、前記X線照射機構内には前記一次X線源からの一次X線ビームを受けて二次X線ビームを発生し、前記先端部を経て試料に照射する二次ターゲットが備えられているX線分析装置。
IPC (1):
G01N 23/223 ( 200 6.01)
FI (1):
G01N 23/223
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (5)
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