Pat
J-GLOBAL ID:201303061882765404

プラズマシンセティックジェットを用いた冷却装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:特許公報
Application number (International application number):2010169119
Publication number (International publication number):2010239165
Patent number:5263701
Application date: Jul. 28, 2010
Publication date: Oct. 21, 2010
Claim (excerpt):
【請求項1】 一方の側に発熱素子が取り付けられるベースと、該ベースの他方の側から突出するように一体的に形成された複数のフィンとを有し導電性材料からなるヒートシンクを備える冷却装置において、前記複数のフィンの各々の先端の縁辺に沿って間に絶縁体を介在して電極が取り付けられ、前記電極の後端側縁辺が前記フィンの面に対して50〜120ミクロンの段差を有しており、前記電極と前記フィンとの間に交流電圧を印加してプラズマシンセティックジェット作用による前記フィンの面に沿った空気流を生ぜしめるための駆動回路を備えていることを特徴とする冷却装置。
IPC (1):
H01L 23/467 ( 200 6.01)
FI (1):
H01L 23/46 C
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (1)
  • 特開平3-252157
Article cited by the Patent:
Cited by examiner (2)

Return to Previous Page