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J-GLOBAL ID:201303063057817054
超音波顕微鏡
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (3):
小谷 悦司
, 小谷 昌崇
, 櫻井 智
Gazette classification:特許公報
Application number (International application number):2009184735
Publication number (International publication number):2010066252
Patent number:5248443
Application date: Aug. 07, 2009
Publication date: Mar. 25, 2010
Claim (excerpt):
【請求項1】 被検体に超音波を照射し、前記被検体からの反射超音波を検出することによって前記被検体の内部の観測信号を得る超音波顕微鏡であって、
励起用パルス光が照射されることにより、熱弾性効果によって超音波を発する超音波発生部と、
前記励起用パルス光を前記超音波発生部に照射する励起用パルス光照射手段と、
前記超音波発生部で発生した超音波が前記被検体に照射されて反射した前記反射超音波を受波することにより,光弾性効果によって光反射率が変化する超音波受波部と、
前記超音波受波部に測定光を照射する測定光照射手段と、
前記超音波受波部に照射された前記測定光の反射光を検出する測定光検出手段と、
表面に前記超音波受波部が形成され、該超音波発生部で発生した超音波を前記被検体の一部に集束させる音響レンズと、を具備し、
前記超音波発生部が前記超音波受波部を兼ね、
前記音響レンズにおける、前記超音波受波部を兼ねる前記超音波発生部が形成された面を含む当該音響レンズの表層部に、前記測定光を前記超音波発生部との界面に沿ってその界面に対して多重反射させつつ伝播させる導光路が形成され、
前記測定光照射手段が、前記導光路に前記測定光を入射させ、
前記測定光検出手段が、前記導光路を伝播した前記測定光を検出してなることを特徴とする超音波顕微鏡。
IPC (1):
FI (1):
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (6)
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改良型高解像度超音波顕微鏡
Gazette classification:公表公報
Application number:特願2009-549087
Applicant:ブラウンユニバーシティ
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超音波顕微鏡
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-191722
Applicant:オリンパス光学工業株式会社
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特開平4-147053
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特開昭55-134349
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非接触非破壊材料評価方法及び装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-209234
Applicant:工業技術院長, 凸版印刷株式会社
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短パルス光を用いた薄膜評価装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-120880
Applicant:新日本製鐵株式会社
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