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J-GLOBAL ID:201303066788133790

経年劣化した熱遮へいコーティングの非接触非破壊検査手法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (5): 重信 和男 ,  水野 昭宣 ,  清水 英雄 ,  高木 祐一 ,  中野 佳直
Gazette classification:特許公報
Application number (International application number):2006132395
Publication number (International publication number):2007303956
Patent number:5205608
Application date: May. 11, 2006
Publication date: Nov. 22, 2007
Claim (excerpt):
【請求項1】金属基材上に生成したアルミナ層及び混合酸化物層の定量的評価に関し、1G〜100GHzの高周波をアルミナ層及び混合酸化物層に照射した際のアルミナ層及び混合酸化物層による反射係数の変化を測定することで、アルミナ層及び混合酸化物層のそれぞれの膜厚の変化を非接触かつ非破壊で評価することを特徴とする非破壊評価システム。
IPC (3):
G01N 22/02 ( 200 6.01) ,  G01N 22/00 ( 200 6.01) ,  G01N 17/00 ( 200 6.01)
FI (3):
G01N 22/02 A ,  G01N 22/00 S ,  G01N 17/00
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)
Article cited by the Patent:
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