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J-GLOBAL ID：201303069171432217

エレクトレット膜およびこれを用いた振動発電素子

Inventor： 鈴木 雅人 ,  今野 隆
Applicant, Patent owner： アオイ電子株式会社
Agent (1)： 永井 冬紀
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2011144605
Publication number (International publication number)：2013013256
Application date： Jun. 29, 2011
Publication date： Jan. 17, 2013
Summary：

【課題】大きな電荷密度を長期間維持することが可能なエレクトレット膜と、このエレクトレット膜を備えた小型で高出力な立体型櫛歯電極構造を持った振動発電素子を提供する。【解決手段】 本発明によるエレクトレット膜は、Si基板の上に、このSiの基材に接するように設けられた第1のSiO2層と、第1のSiO2層の上に、この第1のSiO2層に接するように設けられたイオン不透過膜と、イオン不透過膜の上に、このイオン不透過膜に接するように設けられた第2のSiO2層とを備え、第1のSiO2層にアルカリイオンを含有している。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

Si基板の上に、このSiの基材に接するように設けられた第1のSiO2層と、 前記第1のSiO2層の上に、この第1のSiO2層に接するように設けられたイオン不透過膜と、 前記イオン不透過膜の上に、このSiNx膜に接するように設けられた第2のSiO2層とを備え、 前記第1のSiO2層にアルカリイオンを含有したことを特徴とするエレクトレット膜。

IPC (1)：

H02N 1/00

FI (1)：

H02N1/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• エレクトレット素子および静電動作装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2006-293646   Applicant：三洋電機株式会社
• 静電誘導式発電デバイス及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2008-233330   Applicant：日本信号株式会社
• 発電デバイス
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2008-164678   Applicant：パナソニック電工株式会社