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J-GLOBAL ID：201303082258574995

圧電センサ

Inventor： 秋山 守人 ,  上野 直広 ,  各務 聡 ,  田原 竜夫 ,  野間 弘昭
Applicant, Patent owner： 独立行政法人産業技術総合研究所
Agent (1)： 特許業務法人原謙三国際特許事務所
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2006170126
Publication number (International publication number)：2007108161
Patent number：4883768
Application date： Jun. 20, 2006
Publication date： Apr. 26, 2007
Claim (excerpt)：

【請求項1】 第1の面にて圧力を受け、その圧力により電荷を発生する圧電素子を備えた圧電センサにおいて、 前記圧電素子は、圧力を受けて電荷を発生する圧電薄膜層と前記圧電薄膜層から発生する電荷を取り出す上部電極とを備えており、 前記上部電極は、前記圧電薄膜層の前記第1の面とは反対の第2の面における外周側の領域のみと接しており、 前記圧電素子の前記第2の面に設けられた、導電性の棒状部材であって軸方向の一端面に凹部のない導電部材が、該端面で前記上部電極と接していることによって、前記導電部材と前記圧電素子とが電気的に接続されていると共に、前記第2の面と前記導電部材との間に空間が形成されていることを特徴とする圧電センサ。

IPC (6)：

G01L 9/08 ( 200 6.01) ,  G01L 23/10 ( 200 6.01) ,  H01L 41/08 ( 200 6.01) ,  H01L 41/18 ( 200 6.01) ,  G01H 11/08 ( 200 6.01) ,  G01P 15/09 ( 200 6.01)

FI (6)：

G01L 9/08 ,  G01L 23/10 ,  H01L 41/08 Z ,  H01L 41/18 101 Z ,  G01H 11/08 ,  G01P 15/09 D

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 圧電センサ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-322301   Applicant：独立行政法人産業技術総合研究所
• 特開昭55-160820
  
• 特開昭56-012516
  
• 特開昭56-012515