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J-GLOBAL ID：201303088962652487

型押し構造体の製造方法、薄膜トランジスター、薄膜キャパシター、アクチュエーター、圧電式インクジェットヘッド及び光学デバイス

Inventor： 下田 達也 ,  金田 敏彦
Applicant, Patent owner： 独立行政法人科学技術振興機構 ,  セイコーエプソン株式会社
Agent (1)： 松尾 誠剛
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2011245360
Publication number (International publication number)：2013102072
Application date： Nov. 09, 2011
Publication date： May. 23, 2013
Summary：

【課題】従来よりも大幅に少ない原材料及び製造エネルギーを用いて、かつ、従来よりも短工程で製造することが可能な機能性デバイスの製造方法を提供する。【解決手段】熱処理することにより金属酸化物又は金属となる液体材料を準備する第1工程と、基材上に液体材料を塗布することにより金属酸化物又は金属の前駆体組成物からなる前駆体組成物層を形成する第2工程と、前駆体組成物層に対して凹凸型を用いて型押し加工を施すことにより前駆体組成物層に残膜を含む型押し構造を形成する第3工程と、型押し構造が形成された前駆体組成物層に対して大気圧プラズマ又は減圧プラズマによるアッシング処理を施すことにより残膜を処理する第4工程と、前駆体組成物層を熱処理することにより、前駆体組成物層から金属酸化物又は金属からなる型押し構造体を形成する第5工程とをこの順序で含む型押し構造体の製造方法。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

金属含有化合物を含有し熱処理することにより金属酸化物又は金属となる液体材料を準備する第1工程と、 基材上に前記液体材料を塗布することにより前記金属酸化物又は前記金属の前駆体組成物からなる前駆体組成物層を形成する第2工程と、 前記前駆体組成物層に対して凹凸型を用いて型押し加工を施すことにより前記前駆体組成物層に残膜を含む型押し構造を形成する第3工程と、 前記型押し構造が形成された前記前駆体組成物層に対して大気圧プラズマ又は減圧プラズマによるアッシング処理を施すことにより前記残膜を処理する第4工程と、 前記前駆体組成物層を熱処理することにより、前記型押し構造が形成された前記前駆体組成物層から前記金属酸化物又は前記金属からなる型押し構造体を形成する第5工程とをこの順序で含むことを特徴とする型押し構造体の製造方法。

IPC (11)：

H01L 21/768 ,  H01L 21/320 ,  H01L 21/336 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/288 ,  H01L 21/822 ,  H01L 27/04 ,  B81C 99/00 ,  H01L 41/09 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/045

FI (11)：

H01L21/88 B ,  H01L29/78 617V ,  H01L29/78 616J ,  H01L29/78 618A ,  H01L29/78 617T ,  H01L29/78 627C ,  H01L21/288 Z ,  H01L27/04 C ,  B81C99/00 ,  H01L41/08 C ,  B41J3/04 103A

F-Term (85)：

2C057AF93 ,  2C057AP14 ,  2C057AP57 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14 ,  3C081AA18 ,  3C081CA14 ,  3C081CA37 ,  3C081CA40 ,  3C081DA25 ,  3C081EA07 ,  3C081EA21 ,  3C081EA24 ,  3C081EA35 ,  3C081EA41 ,  4M104AA03 ,  4M104AA09 ,  4M104BB04 ,  4M104BB06 ,  4M104BB08 ,  4M104BB09 ,  4M104BB14 ,  4M104BB36 ,  4M104CC01 ,  4M104CC05 ,  4M104DD51 ,  4M104DD61 ,  4M104DD64 ,  4M104DD65 ,  4M104DD78 ,  4M104DD80 ,  4M104EE03 ,  4M104EE16 ,  4M104GG08 ,  4M104GG14 ,  4M104HH20 ,  5F033GG03 ,  5F033HH03 ,  5F033HH07 ,  5F033HH11 ,  5F033HH13 ,  5F033HH14 ,  5F033HH18 ,  5F033HH35 ,  5F033KK03 ,  5F033PP26 ,  5F033QQ00 ,  5F033QQ08 ,  5F033QQ19 ,  5F033QQ73 ,  5F033QQ82 ,  5F033SS21 ,  5F033VV06 ,  5F033VV15 ,  5F033WW03 ,  5F033WW05 ,  5F033XX33 ,  5F033XX34 ,  5F038AC05 ,  5F038AC14 ,  5F038AC18 ,  5F038EZ11 ,  5F038EZ17 ,  5F038EZ20 ,  5F110AA16 ,  5F110AA17 ,  5F110CC07 ,  5F110DD05 ,  5F110DD12 ,  5F110DD13 ,  5F110EE08 ,  5F110EE42 ,  5F110EE48 ,  5F110FF01 ,  5F110FF27 ,  5F110FF36 ,  5F110GG01 ,  5F110GG25 ,  5F110GG34 ,  5F110GG42 ,  5F110GG58 ,  5F110HK08 ,  5F110HK32 ,  5F110HM05 ,  5F110QQ01