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J-GLOBAL ID：201303094710418953

キャリア輸送性有機非晶質薄膜の製造方法

Inventor： 尾方 秀謙 ,  遠藤 礼隆 ,  藤田 悦昌
Applicant, Patent owner： シャープ株式会社
Agent (5)： 船山 武 ,  三木 雅夫 ,  野村 進 ,  大房 直樹 ,  覚田 功二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2011166656
Publication number (International publication number)：2013030406
Application date： Jul. 29, 2011
Publication date： Feb. 07, 2013
Summary：

【課題】構成する有機分子の配向が制御され、キャリア移動度が高いキャリア輸送性有機非晶質薄膜の製造方法の提供。【解決手段】キャリア輸送性のπ電子共役有機分子を基材上に蒸着させて、キャリア輸送性有機非晶質薄膜を製造する方法であって、前記有機分子のガラス転移点Tg[K]、前記薄膜の膜密度から算出される前記有機分子一分子あたりの体積Vm[Å3]、及び前記有機分子の蒸着速度R[Å/sec]を用いて下記式(A)から算出される温度TA[°C]以上で、且つ1.15Tg[K]以下である温度に、前記基材の温度を調節しながら、前記有機分子を蒸着させることを特徴とするキャリア輸送性有機非晶質薄膜の製造方法。 TA=0.85×Tg/(1+0.01846×ln(Vm/(600×R))-273 ・・・・(A)【選択図】なし

Claim (excerpt)：

キャリア輸送性のπ電子共役有機分子を基材上に蒸着させて、キャリア輸送性有機非晶質薄膜を製造する方法であって、 前記有機分子のガラス転移点Tg[K]、前記薄膜の膜密度から算出される前記有機分子一分子あたりの体積Vm[Å3]、及び前記有機分子の蒸着速度R[Å/sec]を用いて下記式(A)から算出される温度TA[°C]以上で、且つ1.15Tg[K]以下である温度に、前記基材の温度を調節しながら、前記有機分子を蒸着させることを特徴とするキャリア輸送性有機非晶質薄膜の製造方法。 TA=0.85×Tg/(1+0.01846×ln(Vm/(600×R))-273 ・・・・(A)

IPC (2)：

H05B 33/10 ,  H01L 51/50

FI (4)：

H05B33/10 ,  H05B33/22 B ,  H05B33/22 D ,  H05B33/14 A

F-Term (11)：

3K107AA01 ,  3K107BB01 ,  3K107CC11 ,  3K107DD71 ,  3K107DD74 ,  3K107DD78 ,  3K107FF05 ,  3K107FF18 ,  3K107GG00 ,  3K107GG04 ,  3K107GG28