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J-GLOBAL ID:201303097061177436

回折格子及びその製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 特許業務法人池内・佐藤アンドパートナーズ
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2011182480
Publication number (International publication number):2013044927
Application date: Aug. 24, 2011
Publication date: Mar. 04, 2013
Summary:
【課題】反射光と透過光に対して異なる回折特性を示す回折格子を提供する。【解決手段】周期的な表面凹凸構造5が形成された透明基板4と、透明基板面上に設けられ、表面凹凸構造とは異なる周期的な表面形状パターンを形成する金属膜11とを備え、金属膜による反射光においては、表面凸凹構造及び表面形状パターンに応じた回折光が発生し、透明基板を透過する光においては、金属膜の表面形状パターンに応じた回折光が発生する。例えば、透明基板と金属膜の間には、光または電子線などのエネルギービーム照射によりその硬さが変化する有機材料からなる有機材料層6が形成されており、有機材料層は、透明基板の表面凹凸構造とは異なるようにエネルギービーム照射により形成された周期的な硬度変化のパターンを有し、金属膜の表面形状パターンは、有機材料層の硬度変化のパターン7に従って形成されたものである。【選択図】図7
Claim (excerpt):
周期的な表面凹凸構造が形成された透明基板と、 前記透明基板面上に設けられ、前記表面凹凸構造とは異なる周期的な表面形状パターンを形成する金属膜とを備え、 前記金属膜による反射光においては、前記表面凸凹構造及び前記表面形状パターンに応じた回折光が発生し、 前記透明基板を透過する光においては、前記金属膜の表面形状パターンに応じた回折光が発生することを特徴とする回折格子。
IPC (1):
G02B 5/18
FI (1):
G02B5/18
F-Term (11):
2H249AA03 ,  2H249AA07 ,  2H249AA13 ,  2H249AA31 ,  2H249AA33 ,  2H249AA41 ,  2H249AA51 ,  2H249AA55 ,  2H249AA57 ,  2H249AA59 ,  2H249AA65

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